Halvledare

Halvledare

Förbättra ert processutbyte med kompletta lösningar för avancerad halvledarframställning.

I halvledarfabriker kan mikrokontaminering medföra stora problem. Camfil erbjuder ett brett sortiment av lösningar – partikelförfilter, HEPA- och ULPA-filter och molekylärkontrollösningar – för att ta ned partikel- och molekylärkoncentrationer i renrum till ISO Klass 1-nivåer för partiklar och sub-ppb för AMC.

Molekylärfilter och kontroll är viktigare än någonsin i renrumsfiltrering

Luftburen molekylär förorening (AMC) utgör en speciell utmaning för halvledartillverkning i små enheter. Den oönskade kemiska reaktionen hos syror, baser, organiska ämnen, eldfasta ämnen och dopmedel kan påverka waferytan/skivytanoch processoptikutrustning så att defekter skapas under chipproduktionen samt reducera utrustning- och verktygseffektivitet.

Kontroll av molekylärföroreningar blir allt viktigare i kritiska renrumstillverkningsprocesser. Allteftersom specifikationerna blir mer krävande och enhetsstorlekarna sjunker utsätts processkontrollen för ett enormt tryck. Kiselskivor kan under en hel månad i en fabrik och genomgå hundratals processer innan de integreras i en slutprodukt. Även den minsta förorening kan påverka processkedjan och få stora konsekvenser för fabrikens totala avkastning.

Skydda er utrustning och kiselskivor mot nanopartiklar och luftburna molekylära föroreningar

Camfils lösningar erbjuder fält- och laboratoriebevisat skydd i halvledartillverkningsmiljöer, inklusive litografi, etsning, spridning, metallisering, tunnfilm, jonimplantat, inspektionsverktyg, och nät- och kiselskivors förvaringsområden. 

  • Luftfilter för processverktyg
  • Renrumsluftfilter
  • Förfiltersystem för scannrar

Energieffektiva och lågutsläppande lösningar för anläggningssystem

Camfils serie partikelförfilter säkerställer den lägsta energiförbrukningen i tilluftsventilationssystemet samtidigt som HEPA-filtren skyddas från igentäppning och utan att frisätta Bor. Camfil HEPA- och ULPA-filter är designade för att frisätta den lägsta möjliga mängden organiska föroreningar (så kallad låg utgasning), efter år av utveckling av lim- och mediakemiska egenskaper. Frånluftsystem för skivning av kiselskivor som för gasrenare för allmänt frånluftsbackupsystem skyddar miljön från processkontaminering.

  • Bor-fria syntetiska förfilter
  • Förfilter med låg energianvändning 
  • HEPA- och ULPA-filter med låg utgasning
  • Stoftavskiljare och gasrening för renare frånluft

 

Senaste artiklarna

CAMFIL CITY - en virtuell värld med ren luft oavsett inomhusmiljö

Publicerad den 30 juni 2022

Det är inte alla som köper våra produkter som är experter på luftfiltrering och det behöver de heller inte vara. Syftet med Camfil City är att ge alla möjlighet att lära sig grunden om vad våra renluftslösningar kan göra för dem.

Livsmedel och dryck Viruskontaminering Standarder och Föreskrifter Kommersiella och offentliga byggnader Innovation Teknologi och Forskning Take a breath Industri och tillverkning Life Science och Sjukvard Luftkvalitet Energi och Gasturbiner Utbildning och Expertis Luftrenare Kundcase Hållbarhet Elektronik och Optik
Vad är effekterna av korrosion?

Vilka är effekterna av korrosion?

Publicerad den 27 november 2018

Några av effekterna av korrosion inkluderar en betydande försämring av naturliga och historiska monument samt ökar risken för katastrofala utrustningsfel. Korrosion orsakas av luftföroreningar vilket också ökar över hela världen.

Elektronik och Optik