Zlepšite výnos svojich procesov pomocou kompletných riešení pre pokročilú výrobu polovodičov.
V závodoch na výrobu polovodičov môže aj mikrokontaminácia predstavovať obrovské problémy. Spoločnosť Camfil ponúka širokú škálu riešení – predfiltre častíc, filtre HEPA a ULPA a riešenia kontroly AMC – na zníženie akýchkoľvek koncentrácií častíc a molekúl v čistých priestoroch na úroveň ISO triedy 1 pre častice a úroveň sub-ppb pre AMC.
Molekulárna kontaminácia vzduchom (AMC) predstavuje osobitnú výzvu pre výrobu polovodičov malých rozmerov. Nežiaduce chemické reakcie kyselín, zásad, organických látok, žiaruvzdorných látok a dopantov môžu ovplyvňovať povrchy doštičiek a optiku procesných zariadení, čo spôsobuje chyby pri výrobe čipov a zníženú účinnosť zariadení a nástrojov.
AMC sa v kritických procesoch výroby v čistých priestoroch stáva čoraz dôležitejšou. Keďže špecifikácie sú čoraz náročnejšie a veľkosť zariadení sa zmenšuje, riadenie procesu čelí obrovskému tlaku. Doštičky môžu stráviť celý mesiac v závode a prejdú stovkami procesov pred tým, ako sa dostanú do finálneho produktu. Akýkoľvek nepatrný vplyv kontaminácie v tomto reťazci procesov môže mať vážne následky na celkový výnos fabriky.
Ďalšou výzvou je zovšeobecnenie väčších rozmerov doštičiek, čo zvyšuje náklady na jednotlivé doštičky a zvyšuje potrebu ochrany pred nanočasticami a AMC na úrovni nástrojov. Rastúce náklady na bezchybné masky používané v EUV a viacvrstvovej litografii DUV navyše vytvárajú tlak na systémy kontroly kontaminácie pre zariadenia aj pre mini prostredia, ako sú inšpekčné zariadenia a sklady masiek.
Riešenia Camfil poskytujú ochranu v prostredí výroby polovodičov overenú v praxi aj v laboratóriu, vrátane litografie, leptania, difúzie, metalizácie, tenkých vrstiev, iónovej implantácie, kontrolných nástrojov a oblastí na uskladnenie mriežok alebo doštičiek.
Ponuka predfiltrov častíc Camfil zaisťuje najnižšiu spotrebu energie v doplňovacích vzduchotechnických jednotkách a zároveň chráni filtre HEPA pred upchatím, pričom funguje bez uvoľňovania bóru. Filtre HEPA a ULPA spoločnosti Camfil sú navrhnuté tak, aby po rokoch vývoja spojív a chemických vlastností médií uvoľňovali čo najmenšie množstvo organických kontaminantov (tzv. nízke odplynenie). Výfukové systémy na rezanie doštičiek a tiež práčky plynov pre všeobecné záložné výfukové systémy chránia životné prostredie pred kontamináciou.
Protect the environment and people from dangerous or high concentrations of particles and molecules released by industrial processes, comply with local safety regulations and reduce operating costs of your exhaust air filtration system.
Air handling units that provide conditioned outdoor air to industries are a critical parts of facility systems, to create room overpressure and compensate for exhaust air. Make up air needs proper filtration for protecting coils and ducts, people, processes and products.
Recirculation air units are used to provide clean and tempered air to facilities, as complement or in place of ceiling systems and fan filter units. Recirculated air needs filtration for protecting people, processes and products.
Cleanroom ceilings are designed to provide high protection levels against molecules (gas phase), nanoparticles and particles for cleanroom equipment, processes and manufactured products. Ceilings use laminar or turbulent air flows depending on the cleanroom design.
Microelectronic processes in cleanrooms or mini-environments require protection from particles and molecular gaseous contaminants. Processes include lithography, coater developers, etch, diffusion, metallization, thin films, ion implantation, inspection tools and reticle stockers.