Puolijohteet

Puolijohteet

Paranna prosessien tuottoa edistyneeseen puolijohdevalmistukseen suunnitelluilla kattavilla ratkaisuilla.

Mikrokontaminaatio voi aiheuttaa puolijohdetehtaissa massiivisia ongelmia. Camfil tarjoaa laajan valikoiman ratkaisuja – esisuodattimia, HEPA- ja ULPA-suodattimia sekä molekyylisuodatinratkaisuja – joiden avulla voit laskea puhdastilan hiukkaspitoisuuden ISO-luokan 1 tasolle ja molekyylipitoisuuden alle ppb-kynnysarvon.

Molekyylisuodattimet ja molekyylikontaminaation hallinta ovat puhdastiloissa entistä tärkeämpiä

Ilmassa leviävä molekyylikontaminaatio (AMC) on merkittävä haaste pienimuotoisessa puolijohdevalmistuksessa. Happojen, emästen, orgaanisten aineiden, palonkestoaineiden ja seostusaineiden aiheuttamat ei-toivotut kemialliset reaktiot voivat vaikuttaa puolijohdelevyjen pintaan ja prosessilaitteiden optiikkaan, aiheuttaa vikoja sirujen tuotannossa ja haitata laitteiden sekä työkalujen käyttöä.

Molekyylisuodatuksen merkitys kriittisissä puhdastilaprosesseissa kasvaa koko ajan. Teknisten ominaisuuksien kehittyessä ja laitteiden koon pienentyessä prosessien hallintaan kohdistuu kovia paineita. Puolijohdelevyt saattavat olla tehtaalla jopa kuukauden ja käydä läpi satoja prosesseja, ennen kuin ne lähtevät ulkomaailmaan valmiissa tuotteissa. Pienikin kontaminaatiovaikutus prosessiketjussa voi aiheuttaa vakavat seuraukset tehtaan tuotolle.

Toinen haaste liittyy suurten puolijohdelevyjen yleistymiseen. Tämä nostaa yksittäisten puolijohdelevyjen kustannuksia ja lisää nanohiukkasten sekä ilmassa leviävien molekyylien suodatustarvetta työkalujen tasolla. Lisäksi EUV- ja DUV-litografiassa käytettäviin maskeihin liittyvien kustannusten kasvu lisää kontaminaation hallintajärjestelmiin sekä miniympäristöihin, kuten tarkastuslaitteisiin ja maskien valmistukseen, kohdistuvia paineita.

Suojaa prosessilaitteet ja puolijohdelevyt nanohiukkasilta ja ilmassa leviäviltä molekyyleiltä

Camfilin ratkaisut tarjoavat kentällä ja laboratorioissa testattua suojaa puolijohteiden valmistusympäristöön ja prosesseihin, kuten litografiaan, etsaukseen, diffuusioon, metallipinnoitukseen, ohutkalvoihin, ioni-istutuksiin, tarkistustyökaluihin ja resistien tai levyjen varastointialueille.

  • Prosessityökalujen ilmansuodattimet
  • Puhdastilojen ilmansuodattimet
  • Skannerien esisuodatusjärjestelmät

Energiatehokkaat ja vähäpäästöiset ratkaisut tuotantotiloihin

Camfilin hiukkasesisuodattimet varmistavat vähäisen energiankulutuksen tuloilmakoneissa ja suojaavat HEPA-suodattimia tukkeutumiselta ilman booripäästöjä. Camfilin HEPA- ja ULPA-suodattimet on suunniteltu siten, että niistä vapautuu mahdollisimman vähän orgaanisia epäpuhtauksia. Ratkaisujen taustalla on vuosien kehitystyö liimojen ja suodatinmateriaalien kemiallisten ominaisuuksien alalla. Levyjen leikkuun poistoilmajärjestelmät sekä yleisten poistoilman varajärjestelmien savukaasupesurit suojaavat ympäristöä prosessissa vapautuvilta epäpuhtauksilta.

  • Boorittomat synteettiset esisuodattimet
  • Erittäin vähän energiaa kuluttavat esisuodattimet
  • Vähäpäästöiset HEPA- ja ULPA-suodattimet
  • Pölynkeräimet ja savukaasupesurit poistoilman puhdistukseen

 

Camfil Oy
Ruukinmestarintie 11
02330 ESPOO
etsi yhteyshenkilö