GigaPleat

GigaPleat

GigaPleat-paneler er filtre med en høj renhedsgrad til renrumsmiljøer. De anvender medier af adsorbenter indlejret i en plisseret tredimensionel fiberdugstruktur til at fjerne molekylære forureninger.

Panelfilteret GigaPleat er konstrueret af plisseret indlejret medie monteret i en metal- eller plastramme for at fjerne molekylære forureninger. GigaPleat-paneler giver en høj ydeevne og er beregnet til renrumsapplikationer, især til fremstilling af siliciumplader, halvledere, harddiske og i systemer til fladskærme. Filtrene fås i en række standardstørrelser og tykkelser, så de passer til FFU-enheder, lofter og procesudstyr.

Panelerne anvender aktivt kul af høj kvalitet til at opnå en høj grad af effektivitet for flygtige organiske forbindelser (VOC'er), ion exchange resins til baser (især ammoniak) og kemisk imprægneret kul til syrer. Forskellige medier kan kombineres i det samme panel for at fjerne flere molekylære forureninger. Dopingmidler og ildfaste stoffer fjernes med et enkelt medie eller en kombination af ovennævnte mediueafhængigt af molekylernes egenskaber. Den faktiske opnåede effektivitet afhænger af filterkonfiguration og luftmængde. GigaPleat-paneler er testet for afgasning og partikelemission for at imødekomme kravene til høj renhed i renrumsmiljøer og for at forhindre at levetiden for HEPA- og ULPA-filtre, der er placeret på afkastsiden af FFU-enhederne, bliver forringet.