Produkcja półprzewodników

Produkcja półprzewodników

Zwiększ wydajność swojego procesu dzięki kompletnym rozwiązaniom dla zaawansowanej produkcji półprzewodników

W przemyśle półprzewodników, mikro zanieczyszczenia mogą stwarzać poważne problemy. Camfil w celu zatrzymania najmniejszych cząstek i osiągnięcia wysokiej czystości pomieszczeń wg ISO klasa 1, oferuje szeroką gamę produktów od filtracji wstępnej, po filtrację dokładną, HEPA i ULPA, a nawet filtrację molekularną.

Filtracja molekularna kluczowy element w pomieszczeniach czystych.

Zanieczyszczenia molekularne przenoszone drogą powietrzną (AMC) stanowią szczególne wyzwanie w produkcji półprzewodników. Niepożądane reakcje chemiczne kwasów, zasad, substancji organicznych, materiałów ogniotrwałych i domieszek mogą mieć wpływ na powierzchnie płytek i optykę urządzeń procesowych, powodując wady podczas produkcji układów scalonych oraz zmniejszoną wydajność urządzeń i narzędzi.

Kontrola zanieczyszczeń gazowych staje się coraz ważniejsza w krytycznych procesach produkcyjnych w pomieszczeniach czystych. W miarę jak parametry stają się coraz bardziej wymagające, a rozmiary urządzeń kurczą się, sterowanie procesem odbywa się pod ogromną presją. Płytki półprzewodników mogą spędzić nawet cały miesiąc w fabryce, przechodząc setki procesów zanim zostaną wysłane w produkcie końcowym. Każde niewielkie potencjalne zanieczyszczenie w tym łańcuchu produkcyjnym może mieć poważne konsekwencje dla ogólnej wydajności zakładu.

Chroń swoje urządzenia procesowe i płytki drukowane przed mikro cząstkami i zanieczyszczeniami molekularnymi zawieszonymi w powietrzu

Rozwiązania Camfil zapewniają sprawdzoną w praktyce i w laboratorium ochronę w środowiskach produkcji półprzewodników, w tym litografii, wytrawiania, dyfuzji, metalizacji, cienkich folii, implantacji jonów oraz narzędzi inspekcyjnych.

  • Filtracja powietrza w narzędziach procesowych
  • Filtracja powietrza dla pomieszczeń czystych
  • Filtracja powietrza w urządzeniach skanujących

Energooszczędne i niskoemisyjne rozwiązania dla instalacji przemysłowych

Rodzina filtrów wstępnych firmy Camfil zapewnia najniższe zużycie energii w centralach wentylacyjnych chroniąc wysoko skuteczne filtry HEPA przed zbyt szybkim zapchaniem. Filtry absolutne Camfil zostały zaprojektowane tak, aby uwalniać jak najmniej zanieczyszczeń organicznych, które mogłyby przedostać się do procesu (tzw. low outgassing - filtry niskoemisyjne). Filtry motnowane w systemach wywienych chronią środowisko przed zanieczyszczeniami procesowymi.

  • Filtry wstępne wolne od boru
  • Niskie zużycie energii
  • Nisko emisyjne filtry HEPA
  • Odpylacze przemysłowe dla czystego powietrza wylotowego

Latest articles

FILTRACJA HEPA - zmieniające się trendy

Created wtorek, 31 marca 2020

Filtracja HEPA jest wymagana w różnych branżach przemysłu farmaceutycznego, szpitalach, mikroelektronice, a nawet w przemyśle spożywczym. Dowiedz się o zmieniających się trendach w wymaganiach dotyczących filtracji HEPA, o tym jak filtracja HEPA rozwinęła się w ciągu ostatnich lat i jak zidentyfikować i zredukować koszty związane z wymaganiami dotyczącymi czystego powietrza.

Przemysl Biotechnologiczny Jakosc powietrza

Jaki jest wpływ korozji?

Created wtorek, 4 lutego 2020

Some of the effects of corrosion include a significant deterioration of natural and historic monuments. Air pollution causes corrosion, and it’s becoming worse worldwide. Learn how to protect your equipment.

Elektronika i Optyka
info.pl@camfil.com
Informacje o produkcie
+48 42 655 94 10
Znajdź kontakt