GigaPleat板式是無塵室環境中的高潔淨度產品,用於FFU頂部或內部,機台設備或天花板應用。 濾材採用密褶式濾料以提供分子污染去除。
GigaPleat板式濾網由組裝在金屬或塑膠框架中的密褶式濾材構成,用以控制分子污染物。 GigaPleat板式提供高性能,適用於無塵室應用,尤其適用於晶圓製造,半導體,硬碟驅動器或平板顯示裝置。濾網有多種標準尺寸和厚度可供選擇,以適應FFU,天花板和機台設備。濾網採用優質活性碳,可有效吸附揮發性有機化合物(VOC),離子交換樹脂可吸附堿(特別是氨氣),化學浸漬活性碳可吸附酸性氣體。可在同一濾網內組合不同的濾材以針對多種分子污染物。根據分子的性質,用單一濾材或上述濾材的組合除去摻雜劑(Dopants)和難熔性有機化合物(RC)。實際的性能取決於濾網配置和氣流結構。 GigaPleat經過揮發性和發塵檢測,滿足無塵室環境的高潔淨度要求,並避免損害FFU出口側的HEPA和ULPA濾網的使用壽命。