Halbleiter

Halbleiter

Verbessern Sie Ihre Prozesserträge mit kompletten Lösungen für eine fortschrittliche Halbleiterherstellung.

In der Halbleiterherstellung können Mikroverunreinigungen massive Probleme verursachen. Camfil bietet eine umfangreiche Lösungspalette, wie Partikel-Vorfilter, HEPA und ULPA Filter sowie AMC Kontrolllösungen, um jegliche Konzentrationen an Partikeln und molekularen Verunreinigungen in Reinräumen auf ISO Klasse 1 für Partikel und sub-ppb für per Luft übertragene Molekularverunreinigungen zu senken.

Filter für per Luft übertragene Molekularverunreinigungen und deren Kontrolle sind wichtiger denn je für die Reinraumfilterung

Per Luft übertragene Molekularverunreinigungen stellen die Halbleiterherstellung in kleinen Dimensionen vor eine besondere Herausforderung. Die unerwünschten chemischen Reaktionen von Säuren, Basen, organischen Stoffen, Feuerfestmaterialien und Dotierstoffen können Wasseroberflächen und die Optik von Prozessausrüstung beeinflussen, wodurch während der Chipherstellung Defekte auftreten und die Ausrüstungs- und Werkzeugeffizienz gesenkt werden können.

Die Problematik der per Luft übertragenen Molekularverunreinigungen wird in Reinraum-Herstellungsprozessen immer wichtiger. Mit immer anspruchsvolleren Spezifikationen und geringeren Gerätegrößen sieht sich die Prozesskontrolle einem enormen Druck ausgesetzt. Halbleiterscheiben können sich einen ganzen Monat in einer Fabrik befinden und durchlaufen unzählige Prozesse, bevor sie in einem Endprodukt verarbeitet werden. Eine kleine Verunreinigung in diesem Prozess kann sich erheblich auf die Gesamterträge der Fabrik auswirken.

Eine andere Herausforderung ist die Vereinheitlichung von größeren Halbleiterscheibendimensionen, die die Kosten individueller Halbleiterscheiben in die Höhe treibt und den Bedarf an Nanopartikeln und für einen Schutz vor per Luft übertragenen Molekularverunreinigungen auf Werkzeugebene steigen lässt. Zusätzlich wirken sich die steigenden Kosten für defektfreie Masken in der EUV und Multi-Pattern-DUV Lithographie auf die Kontrollsysteme für Verunreinigungen für Einrichtungen sowie auf Miniumgebungen wie Prüfausrüstungen und Maskenanlagen aus.

Schützen Sie Ihre Prozessausrüstung und Halbleiterscheiben vor Nanopartikeln und per Luft übertragenen Molekularverunreinigungen.

Die Lösungen von Camfil bieten einen im Feldeinsatz und im Labor bewährten Schutz in Umgebungen der Halbleiterherstellung, einschließlich Lithographie, Ätzen, Diffusion, Metallisierung, Dünnschichten, Ionenimplantation, Prüfwerkzeugen und Lagerbereichen von Fotomasken oder Halbleiterscheiben.

  • Luftfilter für Prozesswerkzeuge
  • Reinraumluftfilter
  • Scanner-Vorfiltersysteme

Energieeffiziente Lösungen mit geringen Ausgasungen für Einrichtungssysteme

Die Partikel-Vorfilterreihe von Camfil gewährleistet den geringsten Energieverbrauch bei der Einrichtung von Lüftungsanlagen bei gleichzeitigem Schutz der HEPA Filter vor Verstopfung und ohne Freisetzung von Bor. Die HEPA und ULPA Filter von Camfil wurden dazu entwickelt, so wenig organische Verunreinigungen freizusetzen wie möglich (die so genannte geringe Ausgasung), und durchliefen eine jahrelange Entwicklung der Klebmittel und chemischen Eigenschaften der Medien. Abgassysteme für den Zuschnitt der Halbleiterscheiben sowie die Gaswäscher für allgemeine Abgas-Backup-Systeme schützen die Umgebung vor Prozessverunreinigungen.

  • Borfreie synthetische Vorfilter
  • Niedrigenergie-Vorfilter
  • HEPA und ULPA Filter mit geringer Ausgasung
  • Staubsammler und Gaswäscher für eine saubere Abgasluft

 

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