Gigapleat

Gigapleat

GigaPleat板式是洁净室环境中的高洁净度产品,用于FFU的顶部或内部,机台设备或天花板应用。 介质采用密褶式滤料以提供分子污染去除。

GigaPleat板式过滤器由组装在金属或塑料框架中的密褶式介质构成,用以控制分子污染物。 GigaPleat板式提供高性能,适用于洁净室应用,尤其适用于晶圆制造,半导体,硬盘驱动器或平板显示设备。过滤器有多种标准尺寸和厚度可供选择,以适应FFU,天花板和机台设备。过滤器采用优质活性炭,可有效吸附挥发性有机化合物(VOC),离子交换树脂可吸附碱(特别是氨气),化学浸渍活性炭可吸附酸性气体。可在同一过滤器内组合不同的介质以针对多种分子污染物。根据分子的性质,用单一介质或多个介质的组合除去掺杂剂(Dopants)和难熔性有机化合物(RC)。实际的性能取决于过滤器配置和气流结构。 GigaPleat经过挥发性和发尘检测,满足洁净室环境的高洁净度要求,不会损害FFU出口侧的HEPA和ULPA过滤器的使用寿命。