•2026.11.06
MAU、AHU與FFU是甚麼?在無塵室中的應用?
以半導體廠為例，常見氣流路徑
室外空氣 → MAU (初效/中效/AMC) → AHU (溫濕度精調) → FFU (HEPA/ULPA) → 無塵室/潔淨室
簡單來說：
- MAU = 提供並預處理外氣 (Fresh Air Supply)
- AHU = 調節與循環空氣 (Air Conditioning & Circulation)
- FFU = 最終潔淨過濾 (Final Clean Air Delivery)
什麼是MAU、AHU、FFU?
MAU、AHU與FFU簡介
MAU (Make-up Air Unit)外氣空調箱/補風機組
主要功能是將室外新鮮空氣引入系統，並進行過濾、冷卻、加熱、除濕或加濕處理，提供潔淨且符合條件的補充空氣。
特點
- 以 100% 外氣為主
- 控制溫度與濕度
- 可配置 AMC 化學濾網
- 維持無塵室/潔淨室正壓
應用
- 半導體廠
- 電子製造廠
- 製藥廠
- 醫院潔淨區
AHU (Air Handling Unit)空氣處理機組/空調箱
主要負責處理及循環室內空氣，維持空間的溫度、濕度及潔淨度。
特點
- 處理回風與部分新風
- 提供冷卻、加熱功能
- 穩定室內環境參數
- 搭配各級空氣濾網使用
應用
無塵室/潔淨室 (Cleanrooms)
- 商業大樓
- 資料中心
- 製藥及生技廠房
FFU (Fan Filter Unit)風機過濾系統/風機濾網機組
由風機與 HEPA/ULPA 濾網組成，用於潔淨室末端過濾，直接向工作區提供潔淨空氣。
特點
- 末端過濾設備
- 搭配 HEPA 或 ULPA 濾網
- 提供均勻單向流（Unidirectional Flow）
- 可獨立控制風量
應用
- ISO Class 1–8 Cleanrooms
- 半導體製造 (Semiconductor Fabs)
- TFT-LCD 製造廠（薄膜電晶體液晶顯示器工廠）
- 製藥/實驗室
- 無塵室/潔淨室 (Cleanrooms)
MAU、AHU與FFU的差異比對
| 項目 | MAU | AHU | FFU |
|---|---|---|---|
| 全名 | Make-up Air Unit | Air Handling Unit | Fan Filter Unit |
| 中文 | 補風機組 | 空氣處理機組／空調箱 | 風機濾網機組 |
| 主要功能 | 引入並處理外氣 | 調節及循環空氣 | 末端過濾並送風 |
| 空氣來源 | 100% 外氣 | 回風 + 部分外氣 | AHU送風 |
| 溫度控制 | ✓ | ✓ | ✗ |
| 濕度控制 | ✓ | ✓ | ✗ |
| AMC控制 | ✓ 常配置化學濾網 | ✓ 視需求配置 | ✗ |
| 顆粒過濾 | 初效、中效、HEPA | 中高效過濾 | HEPA / ULPA |
| 安裝位置 | 空調系統前端 | MAU後端 | 潔淨室天花板 |
| 主要目的 | 提供潔淨新風 | 維持環境穩定 | 提供最終潔淨氣流 |
| 半導體應用 | 外氣處理、AMC去除 | 溫濕度控制與循環 | 晶圓製程區末端過濾 |
