专为微电子行业工况研发的H14 级 HEPA、U15/U16 级 ULPA 超低释气材质板式过滤器。滤材选用玻纤材质优化设计实现低初阻力与长使用寿命。
| 产品描述 | 过滤器等级 EN1822 | 宽度 (mm) | 高度 (mm) | 深度 (mm) | 压降(Pa) |
|---|---|---|---|---|---|
| Fabsafe MD H13 | H13 | 1170 | 1170 | 66 | 110 |
| Fabsafe MD H13 | H13 | 1170 | 570 | 66 | 110 |
| Fabsafe MD H14 | H14 | 1170 | 1170 | 66 | 130 |
| Fabsafe MD H14 | H14 | 1170 | 570 | 66 | 130 |
| Fabsafe MX H14 | H14 | 1170 | 1170 | 90 | 90 |
| Fabsafe MX H14 | H14 | 1170 | 570 | 90 | 90 |
| Fabsafe MG H14 | H14 | 1170 | 1170 | 110 | 60 |
| Fabsafe MG H14 | H14 | 1170 | 570 | 110 | 60 |
| Fabsafe MD U15 | U15 | 1170 | 1170 | 66 | 140 |
| Fabsafe MD U15 | U15 | 1170 | 570 | 66 | 140 |
| Fabsafe MX U15 | U15 | 1170 | 1170 | 90 | 110 |
| Fabsafe MX U15 | U15 | 1170 | 570 | 90 | 110 |
| Fabsafe MG U15 | U15 | 1170 | 1170 | 110 | 80 |
| Fabsafe MG U15 | U15 | 1170 | 570 | 110 | 80 |
| Fabsafe MX U16 | U16 | 1170 | 1170 | 90 | 130 |
| Fabsafe MX U16 | U16 | 1170 | 570 | 90 | 130 |
| Fabsafe MG U16 | U16 | 1170 | 1170 | 110 | 90 |
| Fabsafe MG U16 | U16 | 1170 | 570 | 110 | 90 |