Halvledare
Förbättra ert processutbyte med kompletta lösningar för avancerad halvledarframställning.
I halvledarfabriker kan mikrokontaminering medföra stora problem. Camfil erbjuder ett brett sortiment av lösningar – partikelförfilter, HEPA- och ULPA-filter och molekylärkontrollösningar – för att ta ned partikel- och molekylärkoncentrationer i renrum till ISO Klass 1-nivåer för partiklar och sub-ppb för AMC.
Rekommenderade produkter
Följande produkter rekommenderas baserat på det valda användningsområdet.
Molekylärfilter och kontroll är viktigare än någonsin i renrumsfiltrering
Luftburen molekylär förorening (AMC) utgör en speciell utmaning för halvledartillverkning i små enheter.
Den oönskade kemiska reaktionen hos syror, baser, organiska ämnen, eldfasta ämnen och dopmedel kan påverka waferytan/skivytan och processoptikutrustning så att defekter skapas under chipproduktionen samt reducera utrustning- och verktygseffektivitet.
Kontroll av molekylärföroreningar blir allt viktigare i kritiska renrumstillverkningsprocesser. Allteftersom specifikationerna blir mer krävande och enhetsstorlekarna sjunker utsätts processkontrollen för ett enormt tryck.
Kiselskivor kan under en hel månad i en fabrik och genomgå hundratals processer innan de integreras i en slutprodukt. Även den minsta förorening kan påverka processkedjan och få stora konsekvenser för fabrikens totala avkastning.
Skydda er utrustning och kiselskivor mot nanopartiklar och luftburna molekylära föroreningar
Camfils lösningar erbjuder fält- och laboratoriebevisat skydd i halvledartillverkningsmiljöer, inklusive litografi, etsning, spridning, metallisering, tunnfilm, jonimplantat, inspektionsverktyg, och nät- och kiselskivors förvaringsområden.
- Luftfilter för processverktyg
- Renrumsluftfilter
- Förfiltersystem för scannra
Energieffektiva och lågutsläppande lösningar för anläggningssystem
Camfils serie partikelförfilter säkerställer den lägsta energiförbrukningen i tilluftsventilationssystemet samtidigt som HEPA-filtren skyddas från igentäppning och utan att frisätta Bor. Camfil HEPA- och ULPA-filter är designade för att frisätta den lägsta möjliga mängden organiska föroreningar (så kallad låg utgasning), efter år av utveckling av lim- och mediakemiska egenskaper. Frånluftsystem för skivning av kiselskivor som för gasrenare för allmänt frånluftsbackupsystem skyddar miljön från processkontaminering.
