6 critères à prendre en compte pour choisir la bonne filtration AMC pour la fabrication de semi-conducteurs
Les filtres AMC jouent un rôle essentiel dans l'élimination des contaminants moléculaires tels que les acides, les substances dopantes et les composés organiques volatils (COV), protégeant ainsi la fabrication des puces logiques ou des puces de mémoire. Voici six points essentiels à prendre en compte pour choisir le bon filtre moléculaire pour la fabrication de semi-conducteurs.
Dans la fabrication des semi-conducteurs, la contamination peut entraîner des défauts, des dysfonctionnements électriques ou des pannes complètes, ce qui se traduit par des problèmes de qualité et une perte de rendement de la production. La contamination par les particules est bien connue et contrôlée, mais pour les technologies avancées, les matériaux et les processus sont plus sensibles à la contamination moléculaire aéroportée (AMC).
Les filtres moléculaires (AMC) jouent un rôle essentiel dans l'élimination des contaminants moléculaires tels que les acides, les bases, les dopants et les composés organiques volatils (COV), protégeant ainsi la fabrication des puces logiques ou des puces de mémoire.
Voici six points essentiels à prendre en compte pour choisir le bon filtre moléculaire pour la fabrication de semi-conducteurs.
6 raisons pour choisir le bon filtre moléculaire (AMC)
Efficacité de filtration
L'un des principaux facteurs à prendre en compte lors du choix d'un filtre moléculaire est son efficacité de filtration. Les filtres AMC sont installés dans les systèmes de traitement de l’air de l'usine et au-dessus des outils ou de l'environnement de l'outil de production. Dans les usines de pointe, les processus de fabrication des plaquettes fonctionnent à des concentrations de contaminants moléculaires aéroportés de quelques ppm (parties par milliard) ou de niveaux inférieurs à la ppm, en particulier dans les zones critiques telles que la lithographie. Les filtres à haute efficacité garantissent une élimination efficace des contaminants, ce qui minimise le risque de contamination et de défauts dans les plaquettes de semi-conducteurs.
Chez Camfil, l'efficacité de nos médias moléculaires et de nos filtres AMC est rigoureusement testée conformément aux normes ISO 10121 dans des conditions proches des applications réelles.
Adaptabilité aux normes des salles propres
Les environnements de salle propre dans la fabrication de semi-conducteurs respectent des normes de propreté strictes, ce qui signifie que les filtres choisis doivent permettre de répondre à ces exigences ou de les dépasser. Assurez-vous que les filtres moléculaires sont conformes aux classifications et réglementations des salles propres, ainsi qu'à la norme ISO 10121, afin de garantir leur adéquation à l'usage prévu. Les filtres doivent être conçus pour s'intégrer parfaitement à la salle propre ou à l'environnement contrôlé, avec des caractéristiques telles que des joints étanches, une perte minimale de particules, un faible dégazage de contaminants moléculaires aéroportés et une compatibilité avec les systèmes de contrôle du flux d'air. Le choix de filtres conformes aux normes des salles propres garantit le maintien de conditions ultra-propres, essentielles à la fabrication des semi-conducteurs.Évolutivité et perennité
La fabrication de semi-conducteurs est une industrie dynamique caractérisée par des avancées technologiques rapides et des exigences de production en constante évolution. Lors de la sélection des filtres moléculaires, il convient de tenir compte de leur évolutivité et de leur potentiel d'adaptation à l'avenir. Choisissez des filtres moléculaires et des systèmes qui peuvent être facilement adaptés à l’évolution future de votre salle propre.Chez Camfil, la R&D est au cœur de notre entreprise. Avec les laboratoires de développement de la filtration moléculaire, nous visons à mettre sur le marché les filtres les plus efficaces (à la fois en termes de performance de filtration et de performance énergétique). En prenant soigneusement en compte ces facteurs, les fabricants de semi-conducteurs peuvent s'assurer qu'ils choisissent les solutions de filtration AMC les plus efficaces, protégeant les composants et les process sensibles et maintenant des rendements de production élevés.
Compatibilité chimique et élimination des contaminants
La fabrication de semi-conducteurs implique une variété de gaz et de produits chimiques, chacun présentant des défis uniques en matière de filtration. Certaines imprégnations chimiques dans les filtres peuvent réagir avec ces substances, créant des sous-produits nocifs. Il est essentiel de sélectionner des filtres moléculaires chimiquement compatibles avec les substances présentes dans l'environnement de production. L'utilisation d'un média moléculaire approprié permet de maximiser le taux d'adsorption et de réduire les taux de contamination.Chez Camfil, nous utilisons une gamme complète de différents médias conçus pour cibler votre contaminant moléculaire.
Efficacité énergétique
Les coûts énergétiques ont un impact considérable sur la fabrication des semi-conducteurs S'assurer que la bonne qualité d'air est fournie dans les environnements contrôlés est essentiel pour optimiser le procédés de fabrication Avec l'élimination par filtration moléculaire, s'assurer que les contaminants moléculaires sont capturés d'une manière efficace sur le plan énergétique peut conduire à d'importantes économies.Chez Camfil, nos filtres moléculaires sont conçus pour réduire la perte de charge dans votre système CVC. Notre CamCarb XG a démontré qu'il réduisait la consommation d'énergie jusqu'à 35 % par rapport à d'autres solutions de filtration AMC comparables .
Exigences de longévité et de maintenance
Les exigences de longévité et de maintenance des filtres moléculaires ont un impact significatif sur les coûts opérationnels et l'efficacité de la production Les performances et la durée de vie d'un filtre sont primordiales. Veillez à choisir une solution testée contre vos contaminants spécifiques et à optimiser la durée de vie du filtre en fonction des niveaux de performance minimaux.Le logiciel unique MCCLD de Camfil prédit avec précision la durée de vie de votre installation de filtration moléculaire, tandis que CLEAN AMC optimise le concept de contrôle total de la contamination moléculaire aéroportée et le coût d’exploitation. CLEAN AMC vous permet de simuler différentes solutions de filtration afin de recueillir des informations sur les concentrations de contaminants moléculaires aéroportés. Ces solutions sont réalisables dans différentes parties de salles propres, par exemple au-dessus du plafond, sous les filtres FFU ou dans la CTA de retour (concentration moyenne des contaminants des salles propres). Ces outils permettent d'adapter les solutions AMC en fonction des paramètres de votre usine de production, ce qui permet d'optimiser les performances et la durée de vie.
Nos produits
CamCarb XG
- La forme cylindrique permet d'obtenir la plus grande efficacité d'élimination et la plus faible perte de charge.
- 30% plus léger que les cylindres métalliques
- Conception ergonomique du filtre pour une meilleure manipulation
- Conception intrinsèquement étanche lorsqu'il est installé dans un équipement dédié
- Construction résistante à la corrosion et à faible encrassement
- Approuvé UL900
- Gaz cibles typiques : sulfure d'hydrogène, COV, ozone, formaldéhyde, dioxyde d'azote et autres acides et bases.
GigaPleat NXDP (DH)
- Réduction des déchets grâce au caisson réutilisable
- Jusqu'à 2 types de médias peuvent être combinés dans le même filtre
- Panneaux interchangeables
- Composants à faible dégazage
- Grande propreté des médias
- La durée de vie ainsi que l’efficacité d’élimination du charbon peuvent être estimées grâce au logiciel exclusif de Camfil MCCLD (molecular contamination control lifetime determination)
- Gaz cibles typiques : COV, acides, bases, ozone
GigaPleat NXPP
- Plusieurs types de médias peuvent être combinés dans le même filtre
- Dégazage COV testé individuellement
- Taille ultra compacte
- Large gamme de dimensions
- Composants à faible dégazage
- Haute propreté du média
- La durée de vie ainsi que l’efficacité d’élimination du charbon peuvent être estimées grâce au logiciel exclusif de Camfil MCCLD (molecular contamination control lifetime determination)
- Gaz cibles typiques : COV, acides, bases, dopants, réfractaires, ozone