Gigapleat

GigaPleat板式过滤器由组装在金属或塑料框架中的密褶式介质构成，用以控制分子污染物。 GigaPleat板式提供高性能，适用于洁净室应用，尤其适用于晶圆制造，半导体，硬盘驱动器或平板显示设备。过滤器有多种标准尺寸和厚度可供选择，以适应FFU，天花板和机台设备。过滤器采用优质活性炭，可有效吸附挥发性有机化合物（VOC），离子交换树脂可吸附碱（特别是氨气），化学浸渍活性炭可吸附酸性气体。可在同一过滤器内组合不同的介质以针对多种分子污染物。根据分子的性质，用单一介质或多个介质的组合除去掺杂剂（Dopants）和难熔性有机化合物（RC）。实际的性能取决于过滤器配置和气流结构。 GigaPleat经过挥发性和发尘检测，满足洁净室环境的高洁净度要求，不会损害FFU出口侧的HEPA和ULPA过滤器的使用寿命。